SEMICONDRORU Tech
セミコンドロル処理
半導体製造過程にもORORU®の技術!
最先端市場をSEMICONDRORU®処理で支援します
【SEMICONDRORU®処理】
先端テクノロジーである「半導体製造装置」の
製造プロセスにおいて課題となっていた
配管・チャンバー内の表面処理における課題を解決。
表面処理のスペシャリスト、ORORUだから
開発できた新技術「SEMICONDRORU」処理で
ステンレス表面の粗さを低減するとともに、
真空状態における昇温速度の向上や高い保温性を実現。
さらに水素配管用表面処理「HYDRORU」処理技術の
応用により水素透過性が低く、
ガスバリア性能も向上させています。
最高品質の半導体マニュファクチャリング環境の構築に
向けて、弊社技術をご用命ください。
※特許出願中
製造プロセスにおいて課題となっていた
配管・チャンバー内の表面処理における課題を解決。
表面処理のスペシャリスト、ORORUだから
開発できた新技術「SEMICONDRORU」処理で
ステンレス表面の粗さを低減するとともに、
真空状態における昇温速度の向上や高い保温性を実現。
さらに水素配管用表面処理「HYDRORU」処理技術の
応用により水素透過性が低く、
ガスバリア性能も向上させています。
最高品質の半導体マニュファクチャリング環境の構築に
向けて、弊社技術をご用命ください。
※特許出願中
不純物の吸着を抑えることで高品質の半導体製造が可能に!
【超精密電解研磨処理のポイント】平滑性が向上(鏡面化)することで製造時に使用される様々なガス(不純物)のSUS表面への吸着を最小限にすることが可能!
赤外線吸収による保温効果で、光熱費を削減し、省エネ化!
【発色処理のポイント】赤外線吸収率が高くなり、真空チャンバー内の保温効果が良くなる。
半導体製造での成膜プロセスでは高い温度を保持する必要があるため エネルギー使用効率の向上が見込まれ、高い省エネ効果が期待できる。